经调查，此次事件约有10人涉案。其中1人为跳槽至东京电子的台积电前员工，已被收押。他与过去在台积电工作期间认识的先进制程研发人员取得联系，从而获得台积电商业秘密。有6人为研发中心人员，因在职期间通过网络传送2纳米相关资料，已被台积电调离原单位。另3人为2纳米试产人员，他们在居家远程工作期间，违规连接内网，利用手机拍摄大量资料，至少将400多张制程整合技术照泄露给东京电子员工，证据确凿，台积电对他们直接开除并移交司法部门。检方讯问后向智财及商业法院申请羁押获批准。（财联社）

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据台湾《经济日报》报道，台积电总裁魏哲家在2022台积电技术论坛上表示，台积电3纳米工艺将维持FF架构并即将量产，并承诺2纳米工艺2025年量产时会是“最领先的技术”。